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產(chǎn)品選型

馬波斯 P3IF白光干涉厚度測量

馬波斯（上海）測量設(shè)備科技有限公司

2025/12/21 21:50:20

產(chǎn)品簡介：

P3IF采用干涉測頭，可測量每一層的厚度。有多種類型的測頭可選，也可測量重參或非透明材料的厚度。

產(chǎn)品分類：

儀器儀表分析測試儀表測量儀器

品牌：

產(chǎn)品介紹

晶圓研磨是圓晶生產(chǎn)中不可或缺的一道工序，旨在減小晶圓厚度，使厚度達(dá)到數(shù)微米。而且，晶圓可為多層結(jié)構(gòu)，只需要監(jiān)控和控制某一層厚度。

P3IF采用干涉測頭，可測量每一層的厚度。有多種類型的測頭可選，也可測量重參或非透明材料的厚度。測頭的設(shè)計(jì)適用于潔凈車間或惡劣環(huán)境中。在惡劣環(huán)境中進(jìn)行在線測量時，干涉儀和接觸式測頭可同時連接同一個控制器上即可輕松監(jiān)控多段制程（粗磨 + 精磨）。