真空系統(tǒng)部件的幾何精度直接決定了半導(dǎo)體設(shè)備的真空保持能力、密封可靠性及運動部件的長期穩(wěn)定性。其尺寸與形位公差的微小偏差可能導(dǎo)致氣體泄漏、顆粒產(chǎn)生或部件卡滯，嚴重影響機臺正常運行時間與半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)良率。

當(dāng)前真空系統(tǒng)核心部件（包括真空閥桿、密封軸件、腔體等）在精密加工與處理工序后，在關(guān)鍵二維尺寸與形位公差檢測方面面臨的瓶頸。

當(dāng)前依賴工具顯微鏡、投影儀、千分尺及手動三坐標(biāo)測量機（CMM）的檢測方式，存在明顯不足：

• 效率與通量低下：手動逐點測量、對焦、取數(shù)的方式耗時極長，尤其是多截面、多參數(shù)的檢測需求，已成為制約生產(chǎn)節(jié)拍與大規(guī)模抽檢的瓶頸。

• 人為誤差與一致性差：操作人員對焦、采點的判斷差異直接影響重復(fù)性與再現(xiàn)性，難以保證測量結(jié)果的客觀統(tǒng)一，不利于工藝能力的精準(zhǔn)評估。

• 數(shù)據(jù)維度孤立：傳統(tǒng)工具通常只能獲取單個尺寸的數(shù)據(jù)，難以在一次裝夾中快速、完整地獲取一個部件上所有關(guān)鍵二維尺寸（如多個截面的直徑、圓度、間距）并建立其相互關(guān)系。

光子精密QM系列閃測儀作為國產(chǎn)新一代二維影像測量系統(tǒng)，采用2000W像素高分辨率鏡頭與大視野高精度成像技術(shù)，結(jié)合智能圖像處理算法，可一次性快速獲取工件整個表面的二維輪廓數(shù)據(jù)，其技術(shù)特性精準(zhǔn)針對上述痛點。

1. 車削與磨削工序后的快速全尺寸與形位公差檢測：
對于車削或磨削完成的閥桿、軸件，傳統(tǒng)方式需在不同儀器間流轉(zhuǎn)，多次裝夾，分別測量直徑、長度、圓度。QM閃測儀通過其大視野高分辨率鏡頭，一次拍照即可覆蓋多個工件的關(guān)鍵區(qū)域。其智能軟件自動識別工件輪廓，并依據(jù)預(yù)設(shè)程序，在數(shù)秒內(nèi)同時完成最多1000個指定截面的直徑、圓度測量，各臺階高度、溝槽尺寸的測量，以及基于不同截面圓心計算的同心度評估。不僅將檢測分鐘甚至小時級縮短至秒級，更確保了所有尺寸基于同一基準(zhǔn)和裝夾狀態(tài)，數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)性更強，能更真實地反映部件的綜合精度。

2. 精密部件（如密封軸件）的批量終檢與質(zhì)量篩分：
在密封軸件等大批量生產(chǎn)場景下，全檢或高比例抽檢是保障質(zhì)量底線的手段。QM閃測儀的“一鍵測量”與“程序化全自動運行” 特性在此發(fā)揮極大優(yōu)勢。操作員僅需將工件放入載物臺大致位置，設(shè)備即可自動完成定位、拍照、測量、判斷、數(shù)據(jù)輸出全過程。其0.5μm的重復(fù)精度保證了批量檢測的可靠性，高效攔截不合格品，防止其流入裝配環(huán)節(jié)，實現(xiàn)質(zhì)量門控的智能化與無人化。

3. 表面處理前后的關(guān)鍵尺寸驗證與缺陷普查：
在部件進行鍍層、氧化等表面處理前后，需要驗證處理工藝是否引入了尺寸變化或表面缺陷。QM閃測儀通過其高對比度的多角度照明系統(tǒng)，可以清晰凸顯工件表面的微觀紋理與邊緣。通過處理前后對同一工件執(zhí)行相同的自動化測量程序，可以精確量化鍍層導(dǎo)致的直徑微小增厚。同時，通過大視野與高精度的雙視野拼接，可以快速對密封配合面等關(guān)鍵區(qū)域進行尺寸檢測。

4. 密封性能的間接評估與裝配前預(yù)驗證：
密封性能雖需專用檢漏儀測試，但其幾何基礎(chǔ)是前提。QM閃測儀可對構(gòu)成密封系統(tǒng)的配對部件進行快速測量與虛擬裝配分析。例如，通過精確測量密封槽的寬度、底部圓角半徑，并與密封圈的截面尺寸進行比對，可以提前評估壓縮率是否在設(shè)計范圍內(nèi)。

面對半導(dǎo)體設(shè)備對真空系統(tǒng)可靠性日益嚴苛的要求，提升其核心部件的幾何精度檢測能力是確保整機性能的基礎(chǔ)。QM系列閃測儀以其核心優(yōu)勢，為高效、精準(zhǔn)地管控真空閥桿、密封軸件及腔體部件的二維尺寸與形位公差提供了解決方案。直接應(yīng)用于車削、磨削及表面處理后的關(guān)鍵工序檢測，并可通過數(shù)據(jù)驅(qū)動工藝優(yōu)化與預(yù)防性質(zhì)量控制。