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OWT-200平整度測試儀

供稿:feel001 2012/7/30 10:15:56

人氣:11

  • 型號:OWT-200

  • 數(shù)量:10

  • 制造商:進(jìn)口

  • 有效期:2099/8/14 0:00:00

描述:

        OWT-200才用PHYS獨(dú)有技術(shù),對透明、半透明、不透明幾乎所有的材料的厚度,TTV,LTV,彎曲度,平整度進(jìn)行無接觸測量,其對透明、半透明材料的高精度精確測量的性價(jià)比在同類測試儀器中是無可比擬的。

特征
■無接觸無損傷測量
■高精確度及重復(fù)性
■測量材料范圍廣,透明、半透明、不透明幾乎所有材料的
厚度/彎曲度/平整度/LTV/TTV
■抗干擾強(qiáng),穩(wěn)定性好                                      
■強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示
■一體化設(shè)計(jì)操作更方便,系統(tǒng)穩(wěn)定
■為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供精確的無接觸測量
■超高測試速度

 
技術(shù)指標(biāo)
  ■測試尺寸:50mm-200mm.
  ■厚度測試范圍:1000 um,可擴(kuò)展到1700 um
  ■ 厚度測試精度:+/-0.1um
  ■ 厚度重復(fù)性精度:0.050um
  ■ TTV 測試精度: +/-0.1um
  ■ TTV重復(fù)性精度: 0.01um
  ■ Warp/Bow精度: 0.2um
  ■ Warp/Bow重復(fù)度: 0.5um
  ■測量時(shí)間: <100秒
  ■ 材料:透明、半透明、不透明幾乎所有的材料
  ■ 尺寸: 560X650X400mm
  ■ 電源:220V 50HZ  300W

       
 主要客戶:歐洲、美洲、臺(tái)灣等地區(qū)藍(lán)寶石生產(chǎn)企業(yè)
詳情歡迎來電咨詢:
北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司
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