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產(chǎn)品選型

納米級(jí)旋轉(zhuǎn)：氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)如何顛覆半導(dǎo)體與精密制造？

雅科貝思精密機(jī)電(上海)有限公司

2025/4/21 9:22:45

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

AAR系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)具備卓越的定位性能，其最高定位精度可達(dá)1.14arcsec，重復(fù)定位精度可達(dá)0.61arcsec。此外，我們亦可提供定制化設(shè)計(jì)服務(wù)，根據(jù)客戶的具體要求進(jìn)行產(chǎn)品優(yōu)化。

產(chǎn)品分類：

電機(jī) 其它

品牌：

雅科貝思

產(chǎn)品介紹

氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

核心組件：

電機(jī)：作為動(dòng)力源，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)，通常采用無框力矩電機(jī)。
氣浮軸承系統(tǒng)：通過高壓氣體在轉(zhuǎn)臺(tái)底部形成空氣墊，實(shí)現(xiàn)無接觸支撐，減少摩擦。
光柵及讀頭：檢測(cè)并反饋回轉(zhuǎn)角度，是實(shí)現(xiàn)高精度定位精度、重復(fù)定位精度、靜態(tài)抖動(dòng)的基礎(chǔ)。
回轉(zhuǎn)臺(tái)面或Chuck：實(shí)現(xiàn)極小端面跳動(dòng)&徑向跳動(dòng)的支撐安裝面，其平面度&平行度會(huì)直接影響最終的跳動(dòng)值。

氣浮軸承的結(jié)構(gòu)分類

根據(jù)支撐方式可分為：“工”字形、“十”字形、錐形。

其中，“工”字形和“十”字形承載能力大，但結(jié)構(gòu)件數(shù)量多、整體尺寸更高；錐形結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、高度尺寸小，但相應(yīng)的承載能力和氣浮剛度低。

氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的優(yōu)勢(shì)

相比于機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)，氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的優(yōu)勢(shì)為：

軸線徑向、軸向跳動(dòng)，擺動(dòng)圖示

無摩擦運(yùn)動(dòng)

氣浮軸承支撐消除機(jī)械接觸，減少磨損，延長(zhǎng)使用壽命。

隨機(jī)位置坐標(biāo)觸發(fā)

軸向/徑向回轉(zhuǎn)精度＜±20nm，定位精度＜±1.1arcsec，雙向重復(fù)定位精度＜±0.1 arcsec，靜態(tài)抖動(dòng)＜±0.3arcsec，擺動(dòng)＜0.5arcsec。

*（此為特定條件下的樣機(jī)測(cè)試精度，具體歡迎咨詢我們的技術(shù)專家。）

低振動(dòng)與噪聲

氣浮技術(shù)顯著降低運(yùn)動(dòng)中的振動(dòng)干擾，適用于超精密環(huán)境。

應(yīng)用場(chǎng)景

■ 半導(dǎo)體工業(yè)：

晶圓切割、晶圓檢測(cè)、晶圓研磨/減薄設(shè)備；

■ 光學(xué)制造與檢測(cè)：

工業(yè)CT、激光加工、光纖對(duì)準(zhǔn)、超精密車床、五軸加工中心、激光反射鏡等元件的精密加工與角度標(biāo)定；

■ 精密測(cè)量：

光學(xué)輪廓儀、圓柱度儀、結(jié)合多軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)實(shí)現(xiàn)三維空間內(nèi)的高分辨率位移檢測(cè)；

■ 科研實(shí)驗(yàn)：

如量子計(jì)算設(shè)備中的超低溫環(huán)境運(yùn)動(dòng)控制，或材料力學(xué)性能測(cè)試；

■ 航空航天：

航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片加工與檢測(cè)、衛(wèi)星姿態(tài)控制測(cè)試、慣性導(dǎo)航設(shè)備測(cè)試及校準(zhǔn)等；

■ 醫(yī)療：

CT、MRI醫(yī)療影像設(shè)備中，氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)用于承載和旋轉(zhuǎn)掃描部件。

AAR系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)：

1. 軸線&徑向回轉(zhuǎn)精度：

AAR150、AAR200軸線&徑向回轉(zhuǎn)精度＜0.1μm；
AAR250、AAR300軸線回轉(zhuǎn)精度＜0.1μm，徑向回轉(zhuǎn)精度＜0.25μm。

2. 角擺：

AAR150角擺＜2arcsec；
AAR200角擺＜0.7arcsec；
AAR250、AAR300角擺＜0.5arcsec。

3. 定位精度&重復(fù)定位精度：

AAR系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)具備卓越的定位性能，其最高定位精度可達(dá)1.14arcsec，重復(fù)定位精度可達(dá)0.61arcsec。該系列提供多種標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)，包括AAR150、AAR200、AAR250及AAR300，以滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。此外，我們亦可提供定制化設(shè)計(jì)服務(wù)，根據(jù)客戶的具體要求進(jìn)行產(chǎn)品優(yōu)化。

（注：上述性能指標(biāo)基于樣機(jī)在特定測(cè)試環(huán)境及條件下測(cè)得，具體測(cè)試參數(shù)與詳細(xì)信息請(qǐng)咨詢我們的工程師。）