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Epson Toyocom 高性能水晶絕對(duì)壓力傳感器

2010/8/5 11:55:17

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

Epson Toyocom公司，作為水晶元器件產(chǎn)品的領(lǐng)導(dǎo)者，開發(fā)出小型，高性能的水晶壓力傳感器，采用獨(dú)創(chuàng)的QMEMS(*1)技術(shù)制造出的壓力傳感結(jié)構(gòu)，以此開發(fā)出具有±10帕(*2)（約一萬(wàn)分之一氣壓(*3)）的高精度與0.1帕的高分辨能力(*4)的高性能且體積為12.5ml、重量為15g的小型水晶絕對(duì)壓力(*5)傳感器。

產(chǎn)品分類：

物聯(lián)網(wǎng) 儀器儀表壓力儀表現(xiàn)場(chǎng)儀表感知層壓力變送器壓力傳感器

品牌：

產(chǎn)品介紹

Epson Toyocom公司(總經(jīng)理:宮澤　要)，作為水晶元器件產(chǎn)品的領(lǐng)導(dǎo)者，開發(fā)出小型，高性能的水晶壓力傳感器，采用獨(dú)創(chuàng)的QMEMS(*1)技術(shù)制造出的壓力傳感結(jié)構(gòu)，以此開發(fā)出具有±10帕(*2)（約一萬(wàn)分之一氣壓(*3)）的高精度與0.1帕的高分辨能力(*4)的高性能且體積為12.5ml、重量為15g的小型水晶絕對(duì)壓力(*5)傳感器。

壓力傳感器在通常情況下存在下述技術(shù)課題：小型化時(shí)會(huì)造成性能下降；追求高性能時(shí)又不得不增大構(gòu)造。

Epson Toyocom在壓力檢測(cè)單元中采用音叉型晶體單元，由此可以得到安定度高的振蕩頻率，從而實(shí)現(xiàn)了具有高精度及高分辨能力的水晶壓力傳感器。

在此之上又使用QMEMS技術(shù)新開發(fā)出獨(dú)創(chuàng)的壓力傳感構(gòu)造，使同時(shí)具有小型及高性能——這兩種相對(duì)性能的產(chǎn)品的實(shí)現(xiàn)變?yōu)榭赡堋?

為此，可以下述領(lǐng)域(例如：氣象或安全方面)為代表，在使用壓力傳感器的各種儀器的小型化及性能提高上做出巨大貢獻(xiàn)。
■ 用于氣象觀測(cè)中大氣壓的高精度測(cè)試
■ 用于大氣壓變化的高低差(以約1cm為單位的高度)的測(cè)試
■ 用于測(cè)試室內(nèi)門窗等開關(guān)而造成的微小的內(nèi)部壓力變化

而且是通過(guò)搭載于周圍機(jī)器，可應(yīng)用于高精度氣壓測(cè)試等新領(lǐng)域的可行性的產(chǎn)品。

現(xiàn)在，Epson Toyocom正將本產(chǎn)品所采用的獨(dú)創(chuàng)的壓力傳感構(gòu)造不斷推廣到其它能夠適用于各種用途的水晶壓力傳感器的開發(fā)上，今后亦將不斷推進(jìn)使用基于QMEMS技術(shù)的超精微加工技術(shù)、晶體振蕩器中醞釀出的高安定振蕩電路技術(shù)以及高精度檢測(cè)技術(shù)的進(jìn)化，創(chuàng)造出更高程度的高性能化和小型化。

【主要規(guī)格】

項(xiàng)目	規(guī)格
壓力檢測(cè)范圍	50 ～ 150 kPa （絕對(duì)壓力）
綜合壓力精度	±10 Pa
分辨能力	0.1 Pa
工作溫度范圍	-20 ～ +70 ℃
輸出接口	RS-232C
外部尺寸規(guī)格	25 × 25 × H20 mm（固定部分除外）

【用語(yǔ)說(shuō)明】
(*1) QMEMS
是由具有高穩(wěn)定、高精度等優(yōu)越特征的石英材料「QUARTZ」和「MEMS」（精微加工技術(shù)）組成的合成詞。與以半導(dǎo)體為材料的MEMS相對(duì)應(yīng),以石英為原料進(jìn)行精微加工,提供小型化、高性能的晶體元器件被稱為「QMEMS」。
QMEMS是Epson Toyocom的注冊(cè)商標(biāo)。

(*2) Pa（帕）
表示壓力的國(guó)際單位。高低差出現(xiàn)10cm的變化時(shí)，氣壓隨之出現(xiàn)約1Pa的變化。

(*3) １氣壓
相當(dāng)于在1cm2的海面上施加約1kg的力。

(*4) 分辨能力
傳感器或裝置等能夠測(cè)量或識(shí)別的能力。

(*5) 絕對(duì)壓力
以絕對(duì)真空為基準(zhǔn)的壓力值。