產(chǎn)品概述：

LS電氣Spinner高速中空軸電機(jī)是專為半導(dǎo)體制造設(shè)備開發(fā)的高性能直驅(qū)電機(jī)，適用于涂膠、顯影、清洗、刻蝕等核心制程環(huán)節(jié)。該電機(jī)采用中空軸設(shè)計(jì)、磁流體密封、內(nèi)置水冷系統(tǒng)等先進(jìn)技術(shù)，在高速旋轉(zhuǎn)、瞬時(shí)加速、低振動(dòng)、高潔凈度等方面表現(xiàn)卓越，是推動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備向高精度、高效率、高可靠性發(fā)展的關(guān)鍵動(dòng)力部件。

核心特點(diǎn)：

    1.高速高精，響應(yīng)迅捷

          ●支持5000–8000rpm高速運(yùn)轉(zhuǎn)，加速度高達(dá)50000rpm/s，滿足半導(dǎo)體工藝對快速啟停和精準(zhǔn)調(diào)速的嚴(yán)苛要求。

          ●轉(zhuǎn)速精度達(dá)±0.1%，軸向/徑向跳動(dòng)≤5μm，確保晶圓在高速旋轉(zhuǎn)中的穩(wěn)定性和工藝一致性。

    2.中空軸結(jié)構(gòu)，集成度高

          ●軸芯通孔設(shè)計(jì)（內(nèi)徑4mm起可定制），支持氣路、真空吸附或走線，簡化設(shè)備布局，提升系統(tǒng)集成度。

          ●結(jié)合磁流體密封技術(shù)，實(shí)現(xiàn)IP等級提升與內(nèi)部環(huán)境隔離，適用于潔凈室與腐蝕性工藝環(huán)境。

    3.低振動(dòng)、低噪音，運(yùn)行平穩(wěn)

          ●通過精密加工與動(dòng)平衡優(yōu)化，整機(jī)振動(dòng)與噪音大幅降低，確保設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行，提升晶圓處理良率。

          ●專用軸承與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，支撐高速工況下的機(jī)械剛性，延長使用壽命。

    4.智能冷卻，可靠耐用

          ●內(nèi)置水冷系統(tǒng)，有效控制電機(jī)溫升，支持長時(shí)間高負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)，保障半導(dǎo)體設(shè)備連續(xù)生產(chǎn)的可靠性。

          ●可定制防腐蝕涂層，適應(yīng)刻蝕、清洗等強(qiáng)腐蝕工藝環(huán)境。

應(yīng)用價(jià)值與市場驗(yàn)證：

          ●高端市場深度滲透： 產(chǎn)品已成功導(dǎo)入三星電子、SK海力士等全球半導(dǎo)體龍頭企業(yè)的產(chǎn)線，并服務(wù)于頭部半導(dǎo)體設(shè)備制造商的涂膠顯影機(jī)、清洗設(shè)備等核心裝備，在8寸、12寸晶圓制造的關(guān)鍵工藝中實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定、批量應(yīng)用。

          ●賦能裝備性能提升： 作為高精度動(dòng)力核心，為國內(nèi)外設(shè)備制造商提供關(guān)鍵運(yùn)動(dòng)控制解決方案，有效助力其設(shè)備在速度、精度及可靠性上達(dá)到國際先進(jìn)水平，提升終端產(chǎn)品競爭力。

LS電氣Spinner高速中空軸電機(jī)，以“高速高精、集成創(chuàng)新、可靠耐用”為核心特質(zhì)，不僅攻克了半導(dǎo)體設(shè)備對運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的極限要求，更通過可定制化、系統(tǒng)適配的設(shè)計(jì)理念，為中國半導(dǎo)體裝備自主化與智能制造升級提供了實(shí)實(shí)在在的“新質(zhì)動(dòng)力”。我們期待以此產(chǎn)品，攜手產(chǎn)業(yè)伙伴，共同推動(dòng)中國高端制造向“芯”而行。