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EVIDENT 無錫半導(dǎo)體展:三大顯微設(shè)備破解制造檢測痛點,共探產(chǎn)業(yè)升級新路徑

EVIDENT 無錫半導(dǎo)體展:三大顯微設(shè)備破解制造檢測痛點,共探產(chǎn)業(yè)升級新路徑

2025/9/4 14:44:22

9 月 4 日 -6 日 , 第十三屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件及材料展在無錫太湖國際博覽中心啟幕 , 源自奧林巴斯 , 助力偉大攀登。奧偉登 ( Evident ) , 攜 DSX2000 數(shù)碼顯微鏡、OLS5100 3D 測量激光顯微鏡、BXC 顯微鏡組件三大核心產(chǎn)品 , 于 B1-221B 展位呈現(xiàn)半導(dǎo)體制造全流程微觀檢測方案 , 為行業(yè) " 精密制程、嚴苛品控、高效生產(chǎn) " 需求提供技術(shù)支撐。

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DSX2000 數(shù)碼顯微鏡 : 多場景觀測效率革新

半導(dǎo)體制造中 , 透明光刻膠、金屬互聯(lián)層等不同材質(zhì)檢測常需頻繁調(diào)整顯微鏡參數(shù) , 易致效率低、誤差大。奧偉登 DSX2000 數(shù)碼顯微鏡搭載智能光學(xué)系統(tǒng) , 明場、暗場、微分干涉相差 ( DIC ) 、偏振光等觀測模式可一鍵切換 , 無需手動更換部件 , 快速適配多材質(zhì)檢測場景。

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設(shè)備配備 4K 超高清成像單元與專業(yè)級色彩還原技術(shù) , 能清晰捕捉納米級細節(jié) , 為晶圓缺陷識別提供精準依據(jù) ; 同時內(nèi)置自動化檢測流程 , 可預(yù)設(shè)放大倍率、照明強度等參數(shù) , 新手也能快速操作 , 且檢測數(shù)據(jù)可聯(lián)動工廠系統(tǒng)、導(dǎo)出標準化報告 , 大幅提升量產(chǎn)場景檢測效率。

OLS5100 3D 測量激光顯微鏡 : 三維成像突破分析瓶頸

針對半導(dǎo)體封裝焊點三維結(jié)構(gòu)、材料表面粗糙度等關(guān)鍵參數(shù)難測量的問題 ,OLS5100 3D 測量激光顯微鏡以激光共聚焦技術(shù)為核心 , 通過逐點掃描獲取樣本縱向光學(xué)切片 , 經(jīng)軟件重構(gòu)生成三維立體圖像 , 精準測量焊點高度差、封裝膠體平整度等數(shù)據(jù)。

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相較于傳統(tǒng)共聚焦設(shè)備 ,OLS5100 掃描效率提升 2 倍 , 且內(nèi)置三維分析算法 , 可自動計算體積、面積、粗糙度等參數(shù) , 避免人工測量主觀誤差 , 為半導(dǎo)體制造標準化品控筑牢數(shù)據(jù)基礎(chǔ)。

BXC 顯微鏡組件 : 潔凈車間的 " 可靠搭檔 "

半導(dǎo)體潔凈車間對設(shè)備潔凈度、抗干擾性、穩(wěn)定性要求嚴苛 , 奧偉登 BXC 顯微鏡組件針對性設(shè)計 : 硬件采用防腐蝕、防靜電材料 , 表面經(jīng)特殊涂層處理 , 可耐受異丙醇消毒擦拭 ; 內(nèi)部電路具備抗電磁干擾能力 , 與光刻機、離子注入機等高頻設(shè)備同場使用仍能保持成像穩(wěn)定 ; 載物臺、物鏡轉(zhuǎn)盤等關(guān)鍵部件經(jīng) 10 萬次以上磨損測試 , 長期高頻率操作仍維持微米級定位精度 , 降低設(shè)備維護成本。

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功能適配性上 ,BXC 支持模塊化擴展 , 可搭載高靈敏度相機實現(xiàn)熒光成像 , 滿足半導(dǎo)體材料熒光標記檢測需求 ; 也可接入自動化載物臺 , 實現(xiàn)晶圓樣本自動移動與多區(qū)域檢測 , 適配車間 24 小時 " 無人值守 " 連續(xù)生產(chǎn)場景。

作為半導(dǎo)體微觀檢測領(lǐng)域的技術(shù)推動者 , 奧偉登 ( Evident ) 此次亮相無錫半導(dǎo)體展 , 不僅展示了三大核心產(chǎn)品的技術(shù)實力 , 更企盼與行業(yè)同仁深入探討微觀檢測賦能半導(dǎo)體制造的創(chuàng)新方向 , 攜手推動全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高精度、更高效率升級。

關(guān)于我們

每一項發(fā)現(xiàn) , 都始于對未知的探索。一個多世紀以來 , 作為奧林巴斯 ( Olympus ) , 我們在顯微技術(shù)領(lǐng)域不斷突破卓越光學(xué)的邊界 , 助力全球頂尖科學(xué)家、醫(yī)師工、程師觀察得更細致、了解得更透徹、成就得更卓越。

如今 , 作為奧偉登 ( Evident ) , 我們傳承這份積淀 , 繼續(xù)致力于突破探索的極限。科學(xué)創(chuàng)新是我們工作的核心——以光學(xué)技術(shù)照亮未知領(lǐng)域。我們的先進成像平臺融合享譽世界的光學(xué)技術(shù)與前沿數(shù)字化創(chuàng)新 , 助您從觀察到洞察 , 每一步都篤定前行。無論是推動新療法研發(fā)、確保產(chǎn)品完整性 , 還是探索未知領(lǐng)域 , 奧偉登 ( Evident ) 打造的智能易用的成像工具 , 都將助您預(yù)見未來。

歡迎與我們聯(lián)系 , 探索我們?nèi)绾卧谏茖W(xué)研究、數(shù)字病理、材料科學(xué)、質(zhì)量控制檢測等領(lǐng)域支持您實現(xiàn)目標。


審核編輯(
黃莉
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