高精密對位平臺

凱?？萍荚醋耘_灣技術(shù)團(tuán)隊研發(fā)的自有品牌"YARAK"高精密對位平臺在高端設(shè)備上已得到廣泛的推薦和使用。產(chǎn)品規(guī)格涵蓋150mm、160mm、180mm、200mm、250mm、350mm、450mm、550mm，更大盤面尺寸我們可按要求定制。

XXY對準(zhǔn)平臺，也稱為XYθ（Theta）平臺或UVW對位平臺，專為高精度對位設(shè)備而設(shè)計，它在XY平面中移動并圍繞XY平面的中心旋轉(zhuǎn)。我們提供常規(guī)的8種型號的XXY對位平臺，小尺寸的重復(fù)定位精度為2μm，大規(guī)格的為3μm，這些型號的線性行程為±5 mm，大尺寸的可達(dá)±10mm。另外，XXY平臺可以圍繞XY平面的中心旋轉(zhuǎn)到±3°，水平負(fù)載從15KG到100KG。

     XXY對位平臺特點：

• 尺寸結(jié)構(gòu)多樣化， XXY對位平臺現(xiàn)有空心及實心兩種設(shè)計，可滿足用戶不同的設(shè)計需求

• 薄型設(shè)計節(jié)省空間-采用Mini stage XYθ模塊化結(jié)構(gòu),實現(xiàn)無中座的薄且輕的機構(gòu)

• 透過特殊交叉滾柱軸承施加預(yù)壓,達(dá)高剛性、高精度

• 中空結(jié)構(gòu)設(shè)計,可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試器使用

• 在各運動軌道加入潤滑系統(tǒng)，提高對位平臺使用的壽命及精度

• 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命,質(zhì)量及效能

• 高精度、高剛性、穩(wěn)定性保障，實行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質(zhì)量

• 可水平或倒置安裝

XXY對位平臺（uvw對位平臺） 、視覺對位平臺廣泛應(yīng)用于光學(xué)測量儀器，晶圓對準(zhǔn)，LCD面板檢測，半導(dǎo)體處理，激光切割和鉆孔，復(fù)合機等領(lǐng)域。