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應(yīng)用設(shè)計

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半導(dǎo)體FOUP電子貨架RFID管控方案

半導(dǎo)體FOUP電子貨架RFID管控方案

2026/1/28 13:59:51

在江蘇半導(dǎo)體電子貨架的應(yīng)用場景中,晶圓盒的全生命周期管理與流轉(zhuǎn)安全性是核心訴求,同時存在兩大關(guān)鍵痛點亟待解決:

(1)全生命周期數(shù)據(jù)實時記錄需求迫切:晶圓盒(FOUP)在生產(chǎn)過程中涉及蝕刻周期、清洗次數(shù)等關(guān)鍵工藝數(shù)據(jù),需實現(xiàn)全程實時記錄與追溯,傳統(tǒng)人工記錄方式效率低、易出錯,無法滿足半導(dǎo)體行業(yè)對數(shù)據(jù)精準性的嚴苛要求;

(2)防錯放與操作安全管控不足:半導(dǎo)體生產(chǎn)流程復(fù)雜,不同工藝階段的晶圓需在對應(yīng)區(qū)域流轉(zhuǎn),若FOUP被錯誤放置(如CMP后晶圓誤入沉積區(qū)),可能導(dǎo)致晶圓損壞、生產(chǎn)流程中斷等嚴重后果,而現(xiàn)有管控手段難以實現(xiàn)實時預(yù)警與權(quán)限鎖定。

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晨控提供的解決方案:

針對半導(dǎo)體電子貨架的核心需求與痛點,晨控依托RFID技術(shù)打造全方位管控方案,實現(xiàn)數(shù)據(jù)實時記錄、庫存智能管理、質(zhì)量精準追溯與流轉(zhuǎn)安全預(yù)警的多重目標:

(1)實時數(shù)據(jù)采集與庫存智能管理:在半導(dǎo)體電子貨架上部署晨控RFID讀寫器,借助紅外線感應(yīng)觸發(fā)技術(shù),當晶圓盒(FOUP)放置于貨架時,讀寫器可快速激活并讀取晶圓盒上RFID標簽的信息,包括產(chǎn)品種類、工藝狀態(tài)等,并同步在前端顯示屏實時展示;當晶圓盒被移除時,系統(tǒng)也能即時更新庫存狀態(tài),實現(xiàn)庫存信息的動態(tài)同步。這一功能徹底替代了傳統(tǒng)人工逐一掃描盤點的模式,不僅大幅縮短了盤點時間,更顯著提升了庫存數(shù)據(jù)的準確性與及時性,幫助管理人員快速掌握貨架上晶圓盒的數(shù)量、種類及流轉(zhuǎn)狀態(tài),為生產(chǎn)調(diào)度提供精準數(shù)據(jù)支撐。

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(2)全生命周期追溯與質(zhì)量風(fēng)險管控:為每臺晶圓盒(FOUP)配備專屬RFID標簽,標簽可全程記錄晶圓從原材料采購、生產(chǎn)加工(如蝕刻周期、清洗次數(shù)、檢測結(jié)果等)到成品出廠的全生命周期數(shù)據(jù),構(gòu)建完整的質(zhì)量追溯體系。一旦產(chǎn)品出現(xiàn)質(zhì)量問題,工作人員可通過RFID系統(tǒng)快速調(diào)取標簽記錄的信息,精準定位問題批次、涉及的生產(chǎn)環(huán)節(jié)及關(guān)鍵工藝參數(shù),為質(zhì)量改進提供明確依據(jù)。通過這一方案,半導(dǎo)體企業(yè)能夠迅速排查質(zhì)量隱患、采取針對性整改措施,有效降低質(zhì)量風(fēng)險,提升產(chǎn)品合格率與客戶滿意度。

(3)流轉(zhuǎn)安全預(yù)警與操作權(quán)限鎖定:結(jié)合半導(dǎo)體生產(chǎn)的工藝流程要求,在RFID系統(tǒng)中預(yù)設(shè)晶圓盒的合理流轉(zhuǎn)路徑與放置區(qū)域規(guī)則。當晶圓盒(FOUP)被錯誤放置(如CMP后晶圓進入沉積區(qū))時,系統(tǒng)可實時識別違規(guī)操作,并立即觸發(fā)聲光報警,同時自動鎖定該貨架的操作權(quán)限,防止進一步誤操作。這一功能實現(xiàn)了流轉(zhuǎn)過程的實時監(jiān)控與主動防錯,從源頭規(guī)避因錯放導(dǎo)致的晶圓損壞、生產(chǎn)中斷等損失,保障生產(chǎn)流程的安全性與穩(wěn)定性。

應(yīng)用產(chǎn)品 晨控CK-S610系列產(chǎn)品特點: ●高集成度:集天線,放?器,控制器于?體的3合1型低頻讀寫器。 ●豐富的接口和協(xié)議:RS232、RS485,支持工業(yè)協(xié)議Modbus RTU

●高防護等級:防護等級達到IP67,具有防水、防腐蝕、防干擾等特點,能夠適應(yīng)惡劣的工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。 ●標準協(xié)議:讀卡器工作頻率134.2kHz,HDX工作模式,支持ISO11784/85射頻標準標簽。

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審核編輯(
王靜
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