某半導(dǎo)體電子貨架現(xiàn)場(chǎng)

（1）每個(gè)晶圓盒的全生命周期數(shù)據(jù)（如蝕刻周期、清洗次數(shù)）需要通過(guò)RFID標(biāo)簽實(shí)時(shí)記錄。

（2）當(dāng)FOUP被錯(cuò)誤放置（如CMP后晶圓進(jìn)入沉積區(qū)），系統(tǒng)立即觸發(fā)聲光報(bào)警，并鎖定貨架操作權(quán)限。

晨控提供的解決方案：

（1）半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器安裝在電子貨架上，通過(guò)無(wú)線射頻識(shí)別技術(shù)，實(shí)時(shí)讀取FOUP晶圓載具的標(biāo)簽信息，精確記錄其存放拿取時(shí)間、存放位置、批次數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化追蹤與管理，有效提升信息檢索效率和降低污染風(fēng)險(xiǎn)，確保晶圓生產(chǎn)與管理的高效與安全。

（2）在晶圓盒上安裝RFID標(biāo)簽，記錄生產(chǎn)過(guò)程和檢測(cè)結(jié)果。一旦出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題，可快速追溯到具體批次和生產(chǎn)環(huán)節(jié)，為質(zhì)量改進(jìn)提供依據(jù)。通過(guò)RFID系統(tǒng)，半導(dǎo)體企業(yè)能夠建立完整的晶圓質(zhì)量追溯體系，從原材料采購(gòu)、生產(chǎn)加工到成品出廠，每一個(gè)環(huán)節(jié)的信息都被準(zhǔn)確記錄在標(biāo)簽中。當(dāng)出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題時(shí)，企業(yè)可以迅速定位問(wèn)題源頭，采取相應(yīng)的措施進(jìn)行整改，有效降低質(zhì)量風(fēng)險(xiǎn)，提高產(chǎn)品質(zhì)量和客戶滿意度。

（3）當(dāng)FOUP放置在貨架上時(shí)，半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器立即捕獲其RFID標(biāo)簽，更新系統(tǒng)位置和時(shí)間戳數(shù)據(jù)。占用槽位的LED指示燈增強(qiáng)視覺(jué)引導(dǎo)。每個(gè)晶圓批次的歷史數(shù)據(jù)（如蝕刻周期、清洗次數(shù)）實(shí)現(xiàn)全生命周期追溯，對(duì)良率分析和質(zhì)量控制至關(guān)重要。系統(tǒng)根據(jù)RFID收集的數(shù)據(jù)（如緊急批次標(biāo)記）優(yōu)先處理FOUP。如果FOUP被放置在錯(cuò)誤區(qū)域（如CMP后晶圓進(jìn)入沉積區(qū)域），系統(tǒng)觸發(fā)不匹配警報(bào)。降低或消除人工掃描識(shí)別，減少人員流動(dòng)所造成的顆粒物污染。

應(yīng)用產(chǎn)品 晨控CK-S610系列產(chǎn)品特點(diǎn)： l高集成度：集天線，放?器，控制器于?體的3合1型低頻讀寫(xiě)器。 l豐富的接口和協(xié)議：RS232、RS485，支持工業(yè)協(xié)議Modbus RTU

l高防護(hù)等級(jí)：防護(hù)等級(jí)達(dá)到IP67，具有防水、防腐蝕、防干擾等特點(diǎn)，能夠適應(yīng)惡劣的工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。 l標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議：讀卡器工作頻率 134.2kHz，HDX 工作模式，支持ISO11784/85射頻標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)簽。