MFC(GasMassFlowController)&MFM(GasMassFlowMeter)是專門針對氣體流動的準(zhǔn)確測量及迅速管控而設(shè)計(jì)的流量控制測量器. 本公司M系列流量控制器可被廣泛的應(yīng)用在精密的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)　直拉式晶爐　細(xì)胞培養(yǎng)發(fā)酵罐設(shè)備　精密氣體混合分析　器件滲漏偵測　高壓相關(guān)產(chǎn)業(yè)　反應(yīng)裝置系統(tǒng)　大學(xué)實(shí)驗(yàn)室　研究所　食品及制藥產(chǎn)業(yè)　生物反應(yīng)器&生物過程控制器　乳酸生產(chǎn)成套發(fā)酵系統(tǒng)設(shè)備　電子束鍍膜機(jī)真空鍍膜機(jī)磁控濺射臺光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)用工具的表面鍍膜等等涉及到人工，電子或是電腦控制的氣體相關(guān)作業(yè)，這些作業(yè)過程都涉及到在控制的環(huán)境內(nèi)使分子氣相與固相發(fā)生適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)，以便在材料上形成不同的材質(zhì)或是薄膜. M系列流量控制器(MFC)流量計(jì)(MFM)其主要組成分別為:流量感應(yīng)器，控制閥以及一套集成電子控制系統(tǒng)，如此的結(jié)合可達(dá)成穩(wěn)固的氣體流動，因而也排出了連續(xù)不斷的監(jiān)控和氣壓的再調(diào)節(jié).

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